AMB 氮化硅(Si3N4)基板是 SiC 功率器件導(dǎo)熱基板材料首選。氮化硅具有優(yōu)異的機械性能,兼顧高彎曲強度和高斷裂韌度,可靠性高,高導(dǎo)熱率(>80 W/mK),氮化硅的出色機械強度有助于釬焊較厚的銅層,載流能力較高。且氮化硅陶瓷基板的熱膨脹系數(shù)與第三代半導(dǎo)體襯底 SiC 晶體接近,使其能夠與 SiC 晶體材料匹配更穩(wěn)定,AMB 氮化硅基板主要用于電動汽車(EV)和混合動力車(HV)功率半導(dǎo)體,特別在 800V 以上高端新能源汽車中應(yīng)用中不可或缺。
圖 氮化硅基板應(yīng)用領(lǐng)域,來源:中材高新
目前各大主流新能源汽車廠商都在積極布局碳化硅車型,如比亞迪漢EV、蔚來ES6、理想L9、小鵬G9、保時捷Tayan和現(xiàn)代ioniq5、華為問界M9 等車型都已經(jīng)采用了碳化硅器件(推薦閱讀:深度 | SiC、IGBT市場發(fā)展現(xiàn)狀解析)。2024年隨著碳化硅加速從6英寸邁向8英寸,需求端新能源車+光伏上量與供給端良率突破或?qū)⒂瓉砉舱?,SiC 有望迎接大規(guī)模放量,帶動氮化硅陶瓷基板的快速發(fā)展。
氮化硅陶瓷基板被公認為是綜合性能最佳的散熱基板,但在實際生產(chǎn)中需要解決兩個棘手的難題:"高導(dǎo)熱"和"持續(xù)穩(wěn)定的大批量生產(chǎn)"。同時,氮化硅陶瓷基板還需要進行覆銅處理以及應(yīng)用端考核,因此要達到應(yīng)用化水平難度較大。目前國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)了氮化硅陶瓷基板的技術(shù)突破,產(chǎn)品性能已達到或接近日本產(chǎn)品水平,多家企業(yè)正在加快產(chǎn)業(yè)化進程。下面為大家介紹國內(nèi)氮化硅陶瓷基板廠商情況,歡迎大家掃描下方二維碼,加入陶瓷基板交流群,與我們交流,進行補充:
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福建臻璟新材料科技有限公司
福建臻璟新材料科技有限公司成立于2018年,位于福建安溪2025產(chǎn)業(yè)園,占地面積近100畝,首期建設(shè)研發(fā)樓、工業(yè)廠房約2萬多平方米,是一家全國領(lǐng)先的第三代半導(dǎo)體氮化物材料供應(yīng)商及熱管理方案解決商。
主營產(chǎn)品有:氮化硅陶瓷基板、氮化鋁陶瓷基板、高純氮化鋁粉、氮化鋁造粒粉、氮化鋁大粒徑填料粉、氮化鋁球型填料粉。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片、功率模塊、高端封裝、射頻/微波等元器件,為5G通訊、光伏、電子電力、新能源汽車及航天航空等高端領(lǐng)域起到關(guān)鍵散熱作用。年產(chǎn)能為氮化鋁粉體200噸、氮化鋁&氮化硅陶瓷基板500萬片。臻璟氮化硅陶瓷基板密度≥3.20g/cm、導(dǎo)熱率≥80W/(m·k)、抗彎強度≥700MPa。
官網(wǎng):http://www.zingin.co
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中材高新氮化物陶瓷有限公司
中材高新氮化物陶瓷有限公司隸屬于中國建材集團,是一家國家級高新技術(shù)企業(yè),國家級"專精特新"小巨人企業(yè),省級瞪羚企業(yè),自1978年開始從事氮化硅陶瓷的研究,是國內(nèi)較早的氮化硅材料研發(fā)單位之一,申請/授權(quán)專利78項,擁有包括粉體合成、材料制備以及精密加工的自主核心技術(shù)。
開發(fā)的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板性能達到日本同類產(chǎn)品,采用特殊的配方和工藝,導(dǎo)熱系數(shù)>80W/(m·k),產(chǎn)品已通過國際頭部企業(yè)質(zhì)量檢測,2023年建成年產(chǎn)70萬片中試線。
官網(wǎng):http://www.sinomaceramic.com
無錫海古德新技術(shù)有限公司
無錫海古德新技術(shù)有限公司成立于2008 年11 月,是一家專注于功率半導(dǎo)體封裝基板和關(guān)鍵高性能氮化物精密陶瓷器件的高新技術(shù)企業(yè)。核心產(chǎn)品氮化鋁、氮化硅、陶瓷加熱盤等廣泛應(yīng)用于功率模塊、射頻通訊、微波通訊、光通訊、汽車電子、LED封裝、激光器、半導(dǎo)體器件封裝等諸多領(lǐng)域。海古德東臺項目建成后年產(chǎn)氮化鋁基板720萬片,氮化硅基板300萬片,2023年10月東臺海古德功率半導(dǎo)體(一期)項目竣工投產(chǎn)。
官網(wǎng):http://www.hy-good.com/
浙江正天新材料科技有限公司
浙江正天新材料科技有限公司成立于2017年,主要業(yè)務(wù)是氮化鋁(AIN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板及制品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售及行業(yè)服務(wù)。具體業(yè)務(wù)包括氮化鋁陶瓷、氮化鋁基板、氮化硅陶瓷、氮化硅基板及AlN陶瓷基片等,產(chǎn)品主要用于電機動力系統(tǒng)中電子元件上功率模塊內(nèi)的覆銅陶瓷基板。正天新材擁有多條大型流延生產(chǎn)線,從流延、裁切、沖孔、靜壓、熱切至燒結(jié)成型擁有完整加工鏈。
目前正天新材已穩(wěn)定批量生產(chǎn)熱導(dǎo)率可達85W/(m?k),熱膨脹系數(shù)為2.7×10-6/℃,并具有優(yōu)異的機械強度、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和抗熱沖擊性的大尺寸(138mm*190.5mm)、低翹曲度(≤200μm)的氮化硅陶瓷基板產(chǎn)品。
官網(wǎng):http://www.cnzhengtian.com
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寧夏艾森達新材料科技有限公司
寧夏艾森達新材料科技有限公司成立于2013年12月,艾森達團隊于2020年開始進行氮化硅基板的潛心研發(fā),目前已突破即燒型氮化硅基板的流延、排膠、燒結(jié)、后處理等技術(shù)工藝瓶頸,實現(xiàn)氮化硅基板的量產(chǎn)化,形成了不同粉體和性能的系列氮化硅產(chǎn)品。
其氮化硅陶瓷基板熱導(dǎo)率達到80-90W/m·k,抗彎強度>700MPa,并且可同時用于AMB焊片和焊料兩種工藝,剝離強度>100N/cm,高低溫循環(huán)沖擊5000次無孔洞,滿足下游企業(yè)對基板性能的需求。138*190*0.32規(guī)格的氮化硅陶瓷基板月產(chǎn)能在4-5萬片左右,并計劃于2024年上半年形成氮化硅10萬片的自動化的生產(chǎn)線。
官網(wǎng):https://www.ascendus.com.cn/
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蘇州博勝材料科技有限公司
蘇州博勝材料科技有限公司成立于2022年5月17日,工廠坐落于蘇州吳中區(qū),致力于材料開發(fā),擁有豐富的制造工藝,以先進陶瓷材料、半導(dǎo)體電子材料為基石,形成多元化的產(chǎn)品布局,主要從事陶瓷材料、漿料膜帶、陶瓷基板設(shè)計研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。蘇州博勝具備粉體、膜帶、漿料研發(fā)能力和批量生產(chǎn)能力,擁有先進的陶瓷流延到表面處理的全流程完整生產(chǎn)線。蘇州博勝可提供AMB用氮化硅陶瓷基板,提供不同應(yīng)用端的氮化硅材料定制化方案。
宜賓紅星電子有限公司
宜賓紅星電子有限公司始建于1939年,是四川長虹電子控股集團有限公司旗下全資子公司,國家高新技術(shù)企業(yè)、工信部專精特新"小巨人"企業(yè)。產(chǎn)品門類涵蓋氮化硅陶瓷基板及載板、氧化鈹陶瓷基板及載板、高純度即燒型氧化鋁基板、透明陶瓷和高精度結(jié)構(gòu)陶瓷等方向,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在微電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、微波技術(shù)、電真空技術(shù)、核工業(yè)技術(shù)與光電技術(shù)領(lǐng)域和重點工程。2023年5月6日紅星電子高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板及覆銅板項目簽約江油,建成達產(chǎn)后將具備年產(chǎn)半導(dǎo)體陶瓷封裝基板、載板1000萬片的能力。
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威海圓環(huán)先進陶瓷股份有限公司
威海圓環(huán)先進陶瓷股份有限公司創(chuàng)建于2015年,專業(yè)從事氮化硅陶瓷基復(fù)合材料的研發(fā),生產(chǎn)和銷售,主要產(chǎn)品有氮化硅陶瓷磨珠,氮化硅陶瓷基板,精磨氮化硅軸承球以及各種異形氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件等。
2015年9月,威海圓環(huán)開啟高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板技術(shù)研發(fā),0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達到量產(chǎn)的水平,氮化硅陶瓷基板熱導(dǎo)率達85W/mK,彎曲強度600Mpa。
浙江多面體新材料有限公司
浙江多面體新材料有限公司是一家特種陶瓷制品科研、生產(chǎn)、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè)。2020年9月27日由中科院上海硅酸鹽研究所張景賢研究員和浙江多靈基片公司聯(lián)合成立浙江多面體,正式推進氮化硅陶瓷基片的國產(chǎn)化,目前公司三條生產(chǎn)線建設(shè)完成,具備年產(chǎn)50萬片的能力,已經(jīng)提供樣品給多家新能源汽車企業(yè)驗證。
2020年11月年產(chǎn)400萬片高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基片項目通過吳興區(qū)發(fā)展改革和經(jīng)濟信息化局備案,項目總投資61000萬元,新增67.98畝用地,建72977平方米建筑用房,購置全套生產(chǎn)線20條,每條線產(chǎn)能約20萬片/年,形成年產(chǎn)400萬片高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基片的生產(chǎn)能力。目前生產(chǎn)車間、研發(fā)車間及辦公樓的主體結(jié)構(gòu)均已經(jīng)完成,預(yù)計2024年3月份試生產(chǎn)。
河北高富氮化硅材料有限公司
河北高富氮化硅材料有限公司是一家致力于生產(chǎn)高性能氮化硅產(chǎn)品的高新技術(shù)企業(yè),年產(chǎn)高純氮化硅600余噸,氮化硅10000噸。公司最早成立于2001年,經(jīng)過了二十余年的發(fā)展,公司先后研發(fā)并量產(chǎn)了2001年氮化硅結(jié)合碳化硅板材、2003年普通氮化硅粉體、2009年陶瓷級氮化硅粉體、2012年光伏級氮化硅粉體、2015年電子級氮化硅粉體、2020年高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板,氮化硅基板的熱導(dǎo)率及機械強度等綜合性能更優(yōu),熱導(dǎo)率>80W/(m·K),強度>700MPa。
官網(wǎng):http://www.corefra.cn/
江蘇富樂華半導(dǎo)體科技股份有限公司
江蘇富樂華半導(dǎo)體科技股份有限公司,成立于2018年3月。由上海申和投資有限公司控股,是專業(yè)從事功率半導(dǎo)體覆銅陶瓷載板(AMB、DCB、DPC、DBA、TMF)以及載板制作供應(yīng)鏈材料的集研發(fā)、制造、銷售于一體的先進制造業(yè)公司。旗下包含上海富樂華半導(dǎo)體科技有限公司、四川富樂華半導(dǎo)體科技有限公司、江蘇富樂華功率半導(dǎo)體研究院有限公司、上海富樂華國際貿(mào)易有限公司、日本子公司、歐洲子公司、馬來西亞子公司。
四川富樂華于內(nèi)江建設(shè)半導(dǎo)體功率模塊陶瓷基板項目,設(shè)計年產(chǎn)氮化硅瓷片 720 萬片、DCB 基板 600 萬片、AMB 基板 480 萬片。氮化硅瓷片熱導(dǎo)率 25℃:≥80W/mK,抗彎強度≥650MPa。目前項目已投產(chǎn)。
官網(wǎng):http://www.ftpowersemi.com/
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新疆晶碩新材料有限公司
新疆晶碩新材料有限公司成立于2017年7月,是新特能源股份有限公司(股票代碼:1799.HK,特變電工股份有限公司控股子公司)的全資子公司,專業(yè)從事先進陶瓷、納米級粉體材料、鋯基新材等產(chǎn)品研發(fā)及技術(shù)應(yīng)用的高新技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品涉及氮化硅粉、氮化硅陶瓷、氣相二氧化硅、氧化鋯粉、氧氯化鋯粉、四氯化鋯等三大領(lǐng)域。
新疆晶碩新材料是一家生產(chǎn)氮化硅粉、氮化硅陶瓷等硅材料產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品制造的企業(yè),是國內(nèi)首家具備氨堿法生產(chǎn)氮化硅粉資質(zhì)的民營企業(yè),能夠批量生產(chǎn)85w以上熱導(dǎo)率基板。
官網(wǎng):http://www.jingsnm.com
??酥Z新材料(大連)有限公司
??酥Z新材料(大連)有限公司成立于2013年10月,注冊資本1333萬元,主要產(chǎn)品為氮化硅粉體、氮化硅陶瓷軸承球、氮化硅陶瓷閥芯、氮化硅陶瓷基板及氮化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件制品,主要應(yīng)用于光伏、軸承、冶金化工、能源、環(huán)保等行業(yè),特別是在航空航天、國防軍事及新能源汽車領(lǐng)域得到普及應(yīng)用。
??酥Z主要技術(shù)人員均從事氮化硅陶瓷研發(fā)、設(shè)計及生產(chǎn)15年以上,并發(fā)明了23項實用新型專利,在氮化硅陶瓷材料研究、開發(fā)及應(yīng)用方面有擁有豐富的經(jīng)驗和成果積累。運用多年積累的材料技術(shù)及燒結(jié)技術(shù)實現(xiàn)了使用粒界控制技術(shù),生產(chǎn)具有高強度的氮化硅(SiN)基板。2023年10月16日,??酥Z總投資10億元的氮化硅新材料產(chǎn)業(yè)化項目簽約落戶湖北孝感高新區(qū)。官網(wǎng):http://www.aikenuo.com
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江蘇方達正塬電子材料科技有限公司
江蘇方達正塬電子材料科技有限公司(Foundarzy)成立于2021年,是一家由南京市紫金山英才高峰計劃入選者創(chuàng)建的高技術(shù)企業(yè)。主要從事"卡脖子產(chǎn)品"氮化硅絕緣散熱基板、覆銅基板等相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和應(yīng)用研究。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于算力、電動汽車、高鐵、超高壓電網(wǎng)、新能源、5G/6G通訊、人形機器人、巨型雷達、航空航天、國防軍工等領(lǐng)域。
方達正塬已經(jīng)投資近千萬元研究氮化硅陶瓷基板制備關(guān)鍵技術(shù)和裝備,構(gòu)建了原材料和生產(chǎn)設(shè)備均國產(chǎn)化的生產(chǎn)技術(shù)體系,目前,擁有25項國家專利和9項高標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)標(biāo)準(zhǔn),在工業(yè)化小批量生產(chǎn)中良品率達到62.8%,并順利通過下游用戶的應(yīng)用驗證,成果經(jīng)國家級專門機構(gòu)鑒定為具有創(chuàng)新性的、總體上達到國際先進水平。
官網(wǎng):http://www.foundarzy.com/
遼寧伊菲科技股份有限公司
遼寧伊菲科技股份有限公司位于遼寧東戴河新區(qū),由原綏中伊菲人工晶體科技有限公司整體轉(zhuǎn)制創(chuàng)立而成,是高性能結(jié)構(gòu)陶瓷等無機非金屬材料及其制品的研發(fā)和生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)。產(chǎn)品包括碳化硼陶瓷、增韌碳化硼陶瓷、防彈陶瓷插板、大尺寸防彈板、熱壓氮化硅陶瓷基板、人工晶體陶瓷等。
自主研發(fā)了大尺寸氮化硅陶瓷基板,研制出高效低成本的燒結(jié)技術(shù)。高熱導(dǎo)率的氮化硅半導(dǎo)體材料基板熱導(dǎo)率高達60-80W/m·k (25℃)?,采用氣壓燒結(jié)工藝,能夠制備6-8英寸的0.32mm厚的陶瓷基板,低膨脹系數(shù)和高抗熱震性等優(yōu)點,特別適用于有震動場合的功率模塊制備。
官網(wǎng):https://www.yifeigufen.com
凱樂士股份有限公司
凱樂士股份有限公司(Kallex company,Itd)成立于1996年,主要從事碳化(SiC) 的及其他各種精密陶產(chǎn)品的研發(fā)和制造。目前的產(chǎn)品主要應(yīng)用于耐磨損,耐腐蝕,耐高溫,耐電漿轟擊,高導(dǎo)熱,高散熱,低污染,壽命長等一種或同時數(shù)種以上各式嚴(yán)苛要求之環(huán)境的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。凱樂士氮化硅基板可提供客制化服務(wù)、研磨與拋光服務(wù)。
官網(wǎng):https://www.kallex.com.tw/
超能高新材料股份有限公司
超能高新材料股份有限公司成立于2011年,為臺灣唯一可量產(chǎn)電子級氮化硅粉的制造廠商,累積銷售超過數(shù)百噸的各式高純度粉體,客戶遍及全球。
氮化硅基板采用超能高純氮化硅粉材為原料,搭配自主開發(fā)燒結(jié)技術(shù),得以完美地發(fā)揮材料本身之特性。強度、熱傳導(dǎo)、熱膨脹與擊穿電壓等物理性質(zhì),皆可達到趨近理論的最佳數(shù)值。2022年3月在桃園市龍?zhí)秴^(qū)新建廠房。
官網(wǎng):https://www.seminc.com.tw
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天津碩科科技有限公司
天津碩科科技有限公司(曾用名:天津碩科精細陶瓷科技有限公司)創(chuàng)建于2017年1月,坐落于天津武清國家級工業(yè)開發(fā)區(qū)。廠區(qū)面積2000余平方米,是一家擁有自主知識產(chǎn)權(quán)、專業(yè)從事氮化鋁、氮化硅等非氧化物陶瓷研發(fā)和生產(chǎn)的先進陶瓷生產(chǎn)企業(yè),產(chǎn)品及服務(wù)廣泛應(yīng)用于新能源、化工、機械制造、汽車、半導(dǎo)體等相關(guān)領(lǐng)域。
官網(wǎng):http://www.shocktech.cn
河北正雍新材料科技有限公司
河北正雍新材料科技有限公司成立于2015年12月31日,專業(yè)從事高性能新材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務(wù),是國家級高新技術(shù)企業(yè),總部坐落于石家莊國家級技術(shù)開發(fā)區(qū)。主營高純氮化硅陶瓷絕緣件、高強氮化硅陶瓷陶瓷耐磨件等高性能陶瓷制品。2018年,氮化硅陶瓷基板成功問世。
官網(wǎng):http://www.hbzhengyong.com
山東厚發(fā)新材料科技有限公司
山東厚發(fā)新材料科技有限公司,集生產(chǎn)、研發(fā)、銷售為一體,以無機非金屬材料為主要開發(fā)方向。專業(yè)生產(chǎn)銷售:高端耐火材料、精密陶瓷結(jié)構(gòu)件、陶瓷閥門管件等??商峁┑杌?。
官網(wǎng):http://www.sdhofa.com
海寧托博特種陶瓷制品有限公司
海寧托博特種陶瓷制品有限公司成立于2012年7月,位于浙江省海寧市袁花工業(yè)區(qū),專注于熱壓氮化硅產(chǎn)品的研發(fā)和銷售,目前擁有11條熱壓氮化硅生產(chǎn)線以及檢測設(shè)備。
目前主要產(chǎn)品有:氮化硅基片、氮化硅駐車加熱器點火塞、氮化硅柴油發(fā)動機預(yù)熱塞、氮化硅電動汽車加熱片、氮化硅柴油車尾氣后處理系統(tǒng)點火塞、氮化硅點火棒等。
官網(wǎng):http://www.torbos.cn
佛山華智新材料有限公司
佛山華智新材料有限公司成立于2013年,致力于大功率半導(dǎo)體器件封裝材料的研發(fā)、制造和銷售,是國內(nèi)射頻芯片封裝材料和功率器件封裝材料的供應(yīng)商,擁有多層熱沉CPC/CMC、空腔塑封管殼ACP、微流道MCC、金剛石銅DCu、陶瓷基板SiN、灌封膠、密封膠等全自主研發(fā)產(chǎn)品線。
2022年氮化硅陶瓷基板量產(chǎn)。
官網(wǎng):http://www.advamat.cn/
江西中科上宇科技有限公司
江西中科上宇科技有限公司成立于2021年10月12日,由景德鎮(zhèn)陶文旅控股集團有限公司與中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所共同出資組建,注冊資本10000萬元,專門從事陶瓷基板先進封裝材料的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售,現(xiàn)階段以氮化硅陶瓷基板的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為主營業(yè)務(wù)。
江蘇貝色半導(dǎo)體材料有限公司
江蘇貝色半導(dǎo)體新材料有限公司成立于2021年11月23日,是昆山市貝色特材裝備有限公司旗下子公司,其氮化鋁、氮化硅陶瓷基板及構(gòu)件項目總投資5億元,分兩期進行建設(shè)。2020年江蘇貝色新材料有限公司投資建設(shè)的氮化鋁、氮化硅陶瓷基板及構(gòu)件項目(一期)建成,可形成年產(chǎn)1億塊氮化物陶瓷基板產(chǎn)能,產(chǎn)品打破國外技術(shù)壟斷。二期項目已于2021年開工。
氮化硅基板相關(guān)研究企業(yè)還有:
衡陽凱新特種材料科技有限公司
成都旭瓷新材料有限公司
金賽隆科技(上海)有限公司
蘇州晶耀高溫新材料有限公司
寧波銀瓷新材料有限公司
吉林長玉特陶新材料技術(shù)股份有限公司
江西創(chuàng)科新材料科技有限公司
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